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镀膜机
2019-03-05 19:26   审核人:

 

 

仪器名称

高真空电子束热蒸发镀膜机

仪器型号

SYRUSpro1110

技术指标

真空室尺寸1110mm,极限真空5×10-5Pa

APSpro等离子体源,光控系统测量精度优于0.002%

主要功能

电子束加热法和热蒸发法沉积薄膜

存放地点

天津理工大学21号楼111

 

 


 

 

 

 

仪器名称

离子束溅射镀膜机

仪器型号

Spector

技术指标

真空室尺寸1000mm,极限真空1.07×10-5Pa

13.56MHz射频离子源25mm环带均匀性≤0.1% 

主要功能

离子束溅射法沉积薄膜

存放地点

天津理工大学21号楼111

 

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